측정 현미경 – 올림푸스 STM7 측정기

Mô tả

광학현미경과 첨단 측정 기능의 통합을 통한 정확한 측정

수년간의 현미경 개발을 통해 정제된 관찰 성능

Olympus STM7 시리즈는 최첨단 광학 현미경에 사용되는 것과 동일한 UIS2 무한 보정 광학 시스템을 사용합니다. 결과적으로 관찰된 이미지는 해상도가 높고 대비가 높으며 수차가 철저하게 제거되어 미세한 부분까지 매우 정확한 측정을 보장합니다.

명시야 이미지

암시야 이미지

DIC 영상

POL 영상

석재로 제작된 스테이지 마운팅 플레이트로 향상된 측정 신뢰성

STM7-LF FEM 분석

측정 정확도를 더욱 확실하게 하기 위해 STM7 시리즈는 내구성이 뛰어나고 진동에 강한 프레임과 화강암 정반을 사용합니다. 이러한 안정성으로 인해 미크론 미만 수준에서 측정을 수행하면서 오류를 최소화할 수 있습니다.

신장계측의 선구자로서 사용하기 쉬운 고정밀 3축계측 계속 제공

반사 능동, 공초점 자동 초점 시스템 광학 경로

현대 제조 기술이 점점 소형화되고 정밀해짐에 따라 수평 XY축뿐만 아니라 Z축을 따라 고도로 정확한 측정이 더욱 중요해졌습니다. Olympus는 반사 능동 공초점 방식으로 현미경을 측정하기 위한 자동 초점 시스템을 최초로 구현함으로써 이러한 요구에 부응했습니다.

엄격한 추적 시스템을 기반으로 한 신뢰할 수 있는 품질

Olympus 측정 현미경의 정확도는 엄격한 추적 시스템에 의해 제어되며 Olympus는 설치 시 추적 가능한 교정도 제공합니다.

측정 현미경 추적 시스템

STM7은 사용 편의성을 강조하여 설계되었습니다.
샘플 크기에 맞는 단계 제공
일반적인 문제
측정 스트로크가 짧으면 더 큰 샘플을 측정할 수 없습니다.
측정 중 X축 범위보다 짧은 Y를 보상하기 위해 필요한 샘플 회전은 시간 비효율적입니다. 지금까지 대형 스테이지는 X축에서 충분한 측정 범위를 제공했지만 Y축에서는 더 적은 범위를 제공했습니다.
측정 범위가 협소하여 한 번에 측정을 위해 많은 수의 샘플을 스테이지에 정렬하는 것은 불가능합니다.
STM7 솔루션
4가지 유형의 스테이지를 사용할 수 있으며 각각 고유한 정사각형 측정 스트로크가 있습니다(50mm x 50mm, 100mm x 100mm, 200mm x 200mm 및 300mm x 300mm 중에서 선택). 작은 크기의 샘플부터 큰 크기의 샘플까지 측정 대상 샘플에 맞는 단계가 있습니다.
클러치 시스템을 사용하면 거친 움직임과 미세한 움직임 사이를 빠르게 전환할 수 있습니다. 이 전환 기능 덕분에 스테이지는 X축 및 Y축을 따라 빠르게 이동하고 XY 평면을 가로질러 자유롭게 이동할 수 있습니다.
300mm 정사각형 길이 스테이지를 사용하면 X축과 Y축 모두에 동일한 측정 스트로크를 적용할 수 있습니다. 즉, 방향을 변경하지 않고 300mm 웨이퍼 및 인쇄 회로 기판과 같은 큰 샘플을 측정하는 데 사용할 수 있습니다.

STM7-CS50
50mm x 50mm

STM7-CS100
100mm x 100mm

STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300
300 mm x 300 mm

저배율 및 고배율 관찰 모두에 동일한 현미경 사용
일반적인 문제
대부분의 기존 측정 현미경은 측정 대물렌즈 또는 야금 대물렌즈만 허용하며 다양한 관찰에 대한 요구 사항을 충족할 수 없습니다.
STM7 솔루션
Olympus STM7은 회전 노즈피스를 측정 대물렌즈 어댑터로 교환하여 야금 대물렌즈와 측정 대물렌즈를 모두 수용합니다. 이는 STM7이 하나의 현미경에 야금 광학계와 측정 광학계를 모두 결합한다는 것을 의미합니다. 이와 같이 STM7 시리즈는 넓은 영역을 측정하든 작은 영역을 측정하든 레벨 간의 차이 크기를 측정하거나 사용자가 최상의 관찰 방법을 선택하는 데 도움이 되는 다양한 요구 사항을 충족합니다. 관찰 방법.

측정 목표

측정 대물렌즈는 작동 거리가 매우 길기 때문에 큰 봉우리와 골이 있는 시료에 초점을 맞출 때 자신감을 제공하는 동시에 대물렌즈가 시료와 접촉할 염려를 줄여줍니다.
또한 저배율 기능을 통해 단일 보기에서 넓은 영역을 관찰할 수 있습니다.

야금 목적

> UIS2 대물 렌즈에 대한 자세한 내용은 여기를 클릭하십시오

수동 및 전동 포커싱 모델 옵션
STM7 라인에는 수동 및 전동 초점 옵션이 모두 포함되어 있습니다.

초점 제어는 수동 또는 전동 작동으로 사용할 수 있습니다. 모든 프레임에 3축 측정을 가능하게 하는 Z축에 대한 선형 눈금이 통합되어 있어 스테이지 크기에 관계없이 샘플 및 측정 콘텐츠 측면에서 요구 사항을 해결하는 모델을 선택하세요.

수동 Z축 초점 모델

수동 Z축 초점 모델은 다양한 높이의 샘플을 측정해야 하는 사용자에게 편의를 제공하는 빠른 수직 이동을 위한 친숙한 핸들 조작으로 탁월한 비용 성능을 제공합니다.

전동 Z축 초점 모델

전동식 초점 장치 사용 시 초점 및 높이 측정 시 조작성이 향상되고 핸들링 피로가 줄어듭니다. 거칠고 미세한 움직임을 위한 동축 손잡이는 수동 조작과 유사한 느낌을 제공하며 모델에는 자동 초점 장치도 장착할 수 있습니다. .

측정 현미경 사용성을 개선하는 혁신적인 제어 장치
일반적인 문제
추가 기능에는 추가 운영 단위가 필요합니다. 작업자가 항상 해당 장치를 빠르게 찾을 수 있는 것은 아니므로 측정 효율성이 크게 저하됩니다.
본체 주변의 수많은 작동 장치와 해당 전원 공급 장치는 소중한 작업 공간을 차지합니다.
STM7 솔루션

컨트롤러

STM7 시리즈를 사용하면 단일 컨트롤러를 사용하여 판독값 재설정, 조명 제어, 초점 조정 및 자동 초점 사용을 포함하여 거의 모든 측정 현미경 작업을 수행할 수 있습니다. 효율성과 편의성을 위해 원하는 위치에 장치를 배치하고 한 손으로 쉽게 조작할 수 있습니다.

제어기

For Manual Z-axis Focusing Models:
STM7-HS Hand Switch

전동 Z축 포커싱 모델의 경우:
STM7-MCZ 포커스 컨트롤러

각 장치의 전원 공급 장치와 변속기가 하나의 컨트롤 박스에 결합되어 있습니다. 이렇게 하면 포커스 내비게이터와 같은 다양한 선택적 기능이 추가된 경우에도 작업 공간을 최대한으로 유지할 수 있습니다.

 

자동 광도 조정으로 관찰 및 측정의 효율성이 크게 향상됩니다.
일반적인 문제
기존 측정 현미경에서 사용하는 아날로그 볼륨 조정은 빛의 강도를 정량적으로 평가할 수 없으므로 빛의 강도가 변화함에 따라 측정 값이 변동될 수 있습니다.
기존 측정 현미경을 사용하면 대물렌즈를 전환할 때마다 빛의 강도를 조정해야 할 수 있으므로 워크플로가 비효율적입니다.
STM7 솔루션

광도 값의 정량적 디지털 디스플레이를 통한 정밀 제어

STM7 시리즈는 광도의 정량적 디지털 디스플레이를 제공하므로 일관된 조명 조건에서 항상 관찰이 가능합니다.

Light Intensity Manager는 수동 조정의 필요성 제거

조도 관리자는 코딩된 회전 노즈피스 구성과 함께 사용할 수 있습니다. 코딩된 회전 노즈피스는 대물렌즈의 전환을 자동으로 감지합니다. 이렇게 하면 각 대물렌즈에 조명 방식과 조도를 등록할 수 있으며, 대물렌즈를 전환하면 측정 중에 자동으로 조정됩니다. 이제 배율을 전환할 때마다 필요했던 빛의 강도를 수동으로 조정할 필요가 없습니다.

5xIntensity 50

20xIntensity 70

100xIntensity 120

 

원하는 위치에 대한 분리형 디지털 판독값으로 측정 결과 및 장비 상태를 빠르고 편리하게 확인할 수 있습니다.
일반적인 문제
조명 등 장비의 동작 상태를 확인하거나 개별 유닛의 측정값을 확인해야 하기 때문에 전반적인 동작이 번거롭다.
STM7 솔루션

디지털 표시기를 통해 현재 작동 상태를 시각적으로 확인할 수 있습니다.

표시기는 장치 상태 및 설정을 표시합니다. 최소 X, Y, Z축 값은 0.1μm에서 1μm 사이에서 전환할 수 있으며 표시 단위는 mm, μm, 인치, 밀 사이에서 전환할 수 있습니다.

분리형 디지털 판독값으로 개별 선호도 및 배치 가능

프레임에 부착하든 책상에 부착하든, 분리 가능한 디지털 판독값의 배치는 개별 사용자에게 달려 있습니다. 서서 측정할 때 관찰 위치와 거의 같은 높이로 프레임 측면에 놓을 수 있어 독특하고 보기 쉽습니다. 디지털 카메라를 통한 모니터의 관찰 또는 측정과 같이 앉은 자세에서 작동하거나 전동 Z축 초점 모델을 사용할 때 디지털 판독값과 핸드 컨트롤러를 책상 위에 놓기만 하면 됩니다.

Automated Focusing System Provides Superior Repeatability

더 빠르고, 더 간단하고, 더 정확한 높이 측정을 달성하십시오.
일반적인 문제

시각적 측정을 수행할 때 작업자 간에 높이 측정에 편차가 발생할 수 있습니다. 또한 이 측정 방법은 시간이 많이 걸리고 비효율적입니다.
STM7 솔루션

우수한 반복성을 가진 간단하고 고정밀 포커싱 시스템

Olympus의 포커스 내비게이터는 시야 내에 패턴을 투영하고 수직 편차를 식별하여 재현성이 높은 높이 측정을 제공합니다. 초점이 날카롭게 보이더라도 일반적인 육안 관찰로 측정한 높이 측정에서는 약간의 오류가 발생할 수 있습니다. 그러나 포커스 내비게이터를 사용하면 마크를 일치시키는 것만으로 간단히 측정할 수 있으므로 측정 결과에서 작업자의 주관성이 줄어듭니다.

시각적 높이 측정

Focus Navigator

Below Focus

In Focus

Above Focus

빠르고 정확한 높이 측정을 위한 자동 초점의 장점
일반적인 문제
육안 측정 중 키 측정 결과는 작업자마다 다를 수 있습니다.
수동 높이 측정은 작업자가 반복적으로 스테이지를 이동하고 핸들로 초점을 조정해야 하므로 측정 시간이 오래 걸리고 비효율적입니다.
본딩 와이어와 같은 미세한 물체에 초점을 맞추는 것은 어렵습니다.
STM7 솔루션

전용 자동 초점 장치: 뛰어난 재현성과 초점 속도

STM7 전용 자동 초점 장치를 사용하면 작업자의 경험 수준에 관계없이 최소한의 시간에 매우 정확한 높이 측정을 수행할 수 있습니다. 반사 능동 공초점 방식을 사용하면 표면 거칠기나 기울어진 샘플 표면에 관계없이 안정적인 초점을 제공하고, 작은 레이저 직경으로 본딩 와이어와 같은 미세한 물체에도 자동 초점을 사용할 수 있습니다.

원샷 모드

대략적으로 초점이 맞춰진 상태에서 시야 중앙에 있는 선명한 초점으로 자동 초점을 즉시 전환합니다.

트랙 모드

주요 추적 모드는 스테이지가 이동하더라도 샘플의 피크와 골을 추적하는 자동 초점을 제공하여 이미지의 초점을 계속해서 유지합니다. 이 발전은 X 및 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 관찰이 가능하도록 하여 Z축 측정의 효율성을 크게 달성했습니다.

관찰과 측정의 범위를 넓히는 액세서리
코딩된 회전 노즈피스

코딩된 회전 노즈피스와 디지털 카메라를 결합하면 관찰하는 동안 화면에 대물렌즈 배율을 표시하고 해당 배율을 기록할 수 있습니다.
이 편리한 기능을 사용하면 샘플을 기록할 때 샘플에 대한 정보와 대물렌즈의 배율을 동시에 기록할 수 있습니다.

MM6-EMO/직립상 단안관

직립상용 단안관. MM6-OCC10x(십자선이 있는 접안렌즈)와 함께 사용할 수 있습니다.

STM7-FS/풋 스위치

핸즈프리로 데이터를 전송할 수 있어 작업자가 X 및 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 측정을 완료할 수 있습니다.

SZ-LW61/ 백색 LED 조명 장치

이 경량의 공간 절약형 디자인 모델은 긴 작동 수명과 낮은 전력 소비를 제공합니다. 비용 효율적인 LED 조명 장치는 깜박임 및 밝기 변동도 없습니다.

SZX2-ILR66 SZX-RHS/ LED 링 조명기 수동 제어 장치

SZX-RHS 수동 제어 장치를 사용하면 SZX2-ILR66 반사 LED 링 조명기의 4개 세그먼트를 독립적으로 조명할 수 있어 높은 색온도로 선명한 이미지를 제공합니다. 13가지 패턴 중에서 최적의 조명을 선택할 수 있습니다.

회전식 스테이지

시료를 쉽게 평행하게 정렬할 수 있습니다.

STM7-RS100
STM7-CS100 100mm x 100mm 스테이지용
STM7 사양

			작은 프레임	중간 프레임	대형 프레임
광학 시스템			UIS2 광학 시스템(무한 보정)
현미경 프레임	관찰 방법		BF/DF/DIC/KPO*1
	반사/전송		반사/전송
	조명 시스템		흰색: 반사 조명용, 녹색: 최대 투과 조명용 전력 소비: 10W
	집중하다	전동/수동	수동 [수동 유형]
			전동 [전동형]
		뇌졸중	175 mm		145 mm*2
		초점 버튼: 거친 이동 속도	8mm/초 [전동형]
		미세 초점 속도(가변)	800 m/400 m/200 m/50 m (노브 전체 회전) 4단계 [전동식]
		최대 측정 가능 높이	175 mm*3, 120 mm*4		145 mm*3, 90 mm*4
	목표		측정 목표/야금 목표
관찰관			직립상 단안관, 직립상 삼안관(100:0/0:100)
단계	뇌졸중		50(X)x50(Y)mm	200(X)x200(Y)mm	300(X)x300(Y)mm
			100(X)x100(Y)mm
	측정 정확도		50 mm 뇌졸중:(3+L/50)µm	(3+4L/200)µm	(3+6L/300)µm
			100 mm 뇌졸중:(3+2L/100)µm
카운터 디스플레이	축 수		삼
	단위		mm/μm/inch/mil
	최소 해상도		0.1μm
치수	[수동형]		466(W)x583(D)x651(H)mm	606(W)x762(D)x651(H)mm	804(W)x1024(D)x686(H)mm
	[전동형]		466(W)x583(D)x811(H)mm	606(W)x762(D)x811(H)mm	804(W)x1024(D)x844(H)mm
무게	[수동형]		84kg(약 .)	152kg(약 .)	277kg(약 .)
	[전동형]		92kg(약 .)	159kg(약 .)	284kg(약 .)
주목			*1: 단순 편광 관찰 *2: 대형 프레임 STM7-LF/STM7-LFA를 사용하는 경우 높이가 100mm 이하인 시편을 광축에서 180mm 이상 후방 위치에 놓을 수 있습니다. *3: 금속 현미경용 대물 렌즈 포함 *4: 현미경 측정용 대물 렌즈 포함

[:]